450-мм пластины и литография жесткого ультрафиолета

21.05.2013

ASML заявляет, что производственное оборудование для серийного производства 450-мм пластин может быть готово в 2018 г, а оборудование для литографии жесткого ультрафиолета (EUV) - в 2016 г. Как сообщает SEMI, старший вице-президент ASML Джим Кунмен (Jim Koonmen) заявил, что "450 мм выглядит как "выполнимый" сценарий снижения затрат, но 450 мм предусматривает малую экономию средств на сканирующих системах, и чтобы выполнить план внедрения, с увеличением размера пластины необходимо значительно улучшить операции совмещения".

ASML запустила четыре программы совершенствования технологии 450 мм на двух платформах и четырех длинах волн. Кунмен прогнозирует появление первых версий установки в 2015-16 гг., а серийных систем - в 2018 г.

Относительно литографии жесткого ультрафиолета Кунмен сообщил, что сейчас мощность источника доведена до 55 Вт и обеспечивает производство 43 пластин в час. Он ожидает, что в 2013-14 гг. мощность источника будет доведена до 80 Вт и сможет обеспечить 58 пластин в час; в 2014-15 гг. - 125 Вт источник обеспечит 81 пластину в час, а в 2015-16 гг. - 250 Вт источник справится с 126 пластинами в час.

Стив Джонстон (Steve Johnston) из Intel, которая инвестировала 4 млрд долл. в программы ASML по разработке технологий 450 мм и EUV, заявил, что программа EUV отстает от графика: "Мощность источника нас задерживает и значительно выбивает из графика, а дефектность маски вызывает серьезную озабоченность".

"Для нас, 10 нм означает 2015 г.", - подчеркнул Джонстон, добавив: "Но я не говорю, что именно тогда мы собираемся внедрить 450 мм".

<< Назад: Xbox нового поколения 22.05.2013

>> Вперед: Карбид-кремниевых устройств выпускают всё больше 21.05.2013

Последние новости науки и техники, новинки электроники:

Чувства кота, ожидаюшего возвращения хозяина 16.07.2026

Многие владельцы кошек уверены, что их питомцы совершенно равнодушны к уходу человека из дома. Считается, что кошки - независимые существа, которые спокойно переносят одиночество и даже радуются, оставаясь одни. Однако испанские специалисты по поведению животных считают, что реальность гораздо сложнее. Реакция кошки на отсутствие хозяина зависит от ее индивидуального характера, степени привязанности к человеку и привычного распорядка дня. Кошки хорошо запоминают ежедневные ритуалы своих владельцев. Они способны связывать определенные звуки - звон ключей, шаги у двери или звук закрывающегося замка - с предстоящим уходом человека. Для одних животных эти сигналы означают возможность спокойно лечь спать, а для других становятся причиной беспокойства и длительного ожидания возвращения хозяина. Таким образом, кошка не просто "не замечает" уход, а активно реагирует на связанные с ним изменения в окружающей обстановке. Исследования поведения кошек показывают, что некоторые из них действи ...>>

Целесообразность приема пробиотиков после курса антибиотиков 16.07.2026

Антибиотики остаются одним из самых мощных инструментов современной медицины в борьбе с бактериальными инфекциями. Однако их действие не ограничивается уничтожением только вредных микроорганизмов. Эти препараты способны существенно влиять на состав кишечной микрофлоры, что часто вызывает вопросы у пациентов: насколько серьезны эти изменения, как долго они сохраняются и нужно ли после курса антибиотиков принимать пробиотики для восстановления. На эти вопросы попытались ответить исследователи, проанализировав имеющиеся научные данные. Во время приема антибиотиков многие люди сталкиваются с неприятными симптомами со стороны пищеварительной системы: тошнотой, болями или спазмами в животе, а также диареей. Такие реакции возникают потому, что препараты воздействуют не только на возбудителей инфекции, но и на полезные бактерии, которые населяют кишечник и участвуют в пищеварении, синтезе витаминов и поддержании иммунитета. Некоторые антибиотики, например азитромицин, могут напрямую влия ...>>

Резкое похудение и возврат веса могут навредить сердцу 15.07.2026

Многие люди, желая быстро избавиться от лишних килограммов, прибегают к строгим диетам с резким ограничением калорий. Достигнув желаемого результата, они часто постепенно или быстро возвращаются к прежнему рациону и прежнему весу. На первый взгляд это кажется лишь вопросом внешнего вида, однако ученые предупреждают: постоянные колебания массы тела могут оказывать негативное влияние на сердечно-сосудистую систему и обмен веществ. Так называемый эффект йо-йо, когда периоды активного похудения сменяются повторным набором веса, становится все более распространенным явлением. Новые исследования указывают на возможную связь между такими циклами и ухудшением работы сердца. Организм способен адаптироваться к изменениям питания, но постоянное повторение резких переходов между ограничением калорий и перееданием создает дополнительную нагрузку на различные системы. В одном из экспериментов на лабораторных животных исследователи моделировали эффект йо-йо, периодически снижая калорийность рац ...>>

Разбрасыватель минудобрений Rauch Axis 55 15.07.2026

Немецкая компания Rauch, известная своими высокоточными сельскохозяйственными машинами, представила на выставке DLG Feldtage новый флагманский разбрасыватель минеральных удобрений Axis 55. Эта модель пришла на смену предыдущей версии Axis 50.2 и стала самой крупной в актуальной линейке производителя после выхода более компактной Axis 25 в прошлом году. Новая машина сочетает в себе повышенную производительность, расширенный диапазон рабочих ширин и усовершенствованные системы контроля внесения. Одной из главных технических особенностей Axis 55 стала значительно увеличенная максимальная производительность внесения - до 675 кг удобрений в минуту. Это на 30 % больше по сравнению с предшественником. Благодаря такому показателю разбрасыватель способен обеспечивать норму внесения до 900 кг/га при рабочей ширине 36 метров и скорости движения машины 25 км/ч. При этом устройство сохраняет возможность работы с очень низкими нормами внесения, например, при распределении гранул против улиток, бе ...>>

Антоцианы черники: природная защита для зрения в темноте 14.07.2026

Специалисты все активнее изучают влияние растительных веществ на здоровье глаз. Особое внимание привлекают антоцианы - природные пигменты, которые придают яркую окраску многим ягодам и овощам. Новые данные показывают, что эти соединения способны не только защищать клетки глаз от окислительного стресса, но и ускорять восстановление родопсина - ключевого пигмента, отвечающего за способность видеть в условиях низкой освещенности. Антоцианы содержатся в большом количестве в чернике, голубике, ежевике, черной смородине, а также в краснокочанной капусте и некоторых других красных, синих и фиолетовых продуктах. Эти вещества обладают мощными антиоксидантными и противовоспалительными свойствами. Они помогают нейтрализовать активные формы кислорода, которые повреждают клетки сетчатки и способствуют развитию хронического воспаления. По данным исследователей, антоцианы оказывают комплексное положительное влияние на зрительную систему. Они улучшают микроциркуляцию крови в сетчатке, поддержива ...>>

Случайная новость из Архива Гоночный электромобиль 09.12.2006 Новая калифорнийская фирма "Тесла Моторс" продемонстрировала публике двухместный спортивный электромобиль "Тесла Родстер". До ста километров в час он разгоняется с места за четыре секунды (это быстрее "Феррари"). Благодаря литиево-ионным аккумуляторам и легкому корпусу на углеродных волокнах машина проезжает на одной зарядке до 400 километров. Заряжать можно от обычной домашней электророзетки; для наполнения аккумуляторов "под завязку" достаточно одной ночи. В дальнейшем фирма намерена выпустить четырехместную модель, а также солнечную батарею для установки на крыше гаража. Такая собственная гелиоэлектростанция позволит в солнечный день запасти энергии на 80 километров, то есть как минимум на два дня поездок средней длительности. Один недостаток спортивного электромобиля уже выявился: он слишком бесшумен, что непривычно для водителей. Конструкторы намерены придать автомобилю электронный генератор шума, запрограммированный на изменения громкости "рева мотора" в зависимости от скорости.

Смотрите полный Архив новостей науки и техники, новинок электроники

www.diagram.com.ua
2000-2026